A vákuum minősége
A vákuum minőségét a visszamaradt anyag jellemzi. Elsődlegesen annak abszolút nyomása, de teljes jellemzéséhez hozzátartozik még kémai összetétele, hőmérséklete és esetlegesen más paramétere is.
Vákuum minőségi osztályok
| Név | Torr | Pascal (mértékegység) |
| Atmoszférikus nyomás (értéke ugyan változik, de szabványban rögzített) | 760 Torr | 101,325 kPa |
| Elővákuum (vagy „durva vákuum”) | 760 – 25 Torr | 100 – 3 kPa |
| Középvákuum | 25 – 1·10−3 Torr | 3 kPa – 100 mPa |
| Nagyvákuum | 1·10−3 – 1·10−9 Torr | 100 mPa – 1 µPa |
| Ultranagy vákuum | 1·10−9 – 1·10−12 Torr | 100 nPa – 100 pPa |
| Extrém nagy vákuum | <1·10−12 Torr | <100 ppa="" span=""> |
Nyomásmértékegységek
pascalPa | bárbar | technikai atmoszféraat | fizikai atmoszféraatm | torrésmmHg | font per | |
|---|---|---|---|---|---|---|
1 Pa | ≡ 1 N/m² | 10−5 | 10,197·10−6 | 9,8692·10−6 | 7,5006·10−3 | 145,04·10−6 |
1 bar | 100 000 | ≡ 106 dyn/cm² | 1,0197 | 0,98692 | 750,06 | 14,504 |
1 at | 98 066,5 | 0,980665 | ≡ 1 kp/cm² | 0,96784 | 735,56 | 14,223 |
1 atm | 101 325 | 1,01325 | 1,0332 | ≡ 101 325 Pa | 760 | 14,696 |
1 torr | 133,322 | 1,3332·10−3 | 1,3595·10−3 | 1,3158·10−3 | ≡ 1 mmHg | 19,337·10−3 |
1 psi | 6,89476·103 | 68,948·10−3 | 70,307·10−3 | 68,046·10−3 | 51,715 | ≡ 1 lbf/in² |